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小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測，大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術來測量。

其中光柵傳感器因具有易實現數字化、精度高（目前分辨率的可達到納米級）、抗干擾能力強、沒有人為讀數誤，差、安裝方便，使用可靠等優點，在機床加工、檢測儀表等行業中得到日益廣泛的應用

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氣體傳感器一般被歸為化學傳感器的一類，盡管這種歸類不一定科學。

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